这时,梁宋松也半蹲了下来,🅢🈓♥目光一直盯着主体系统的接驳机构。他想找出故障的原因,证明自己的🈵🂧👋猜想没有错。
“我们这台光刻机的接驳机构是测绘🐋♷🍀以后的仿制,没有原始图纸,精度没保障。🉈🅘所以说,就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半天,梁宋松果断的下结论,认为还是光刻机主体系统🜷出了故障。
他这套理论倒是有点道理,可跟两套系统组合以后📽☮🂮的质量缺陷有啥联系🝝?
故此,万宁古根本不同意梁宋松的意见,“🕾🏑🙖激光光路系统和光刻机主体系统是刚性连接,跟这套接驳机构有啥关系?”
刚性连接只要保证连接机构的稳定就行,不会对两套机构的性能稳定性造成影响。再说了,这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性♹🍗,根本不会影响光刻机两套系统的稳定性🅒🆁🌧。
万宁古对光刻机的结构非常熟悉,一下子就排除了梁宋松的论断。按照他的设想,众人不要在这套接驳机构的稳定性上做深层👘🅮挖掘。
这时,眉头紧锁的许振鸣稍稍一抬眉,瞥了一眼身旁的万宁古。“老万,光刻机的震动量、电磁杂波干扰等方面,会不会影响👘🅮到光刻机的稳定性🎝💅?”
“嗯…肯定会有影响的。要不然,光刻机的工作环境要求非常高,基础要有防震动设施,现场电磁杂波要做屏蔽措🚉👣施。”
万宁古皱着眉头说道,心里还在考虑着其他的影响📽☮🂮因素。在🇫他看来,这次🌩🁰检测要麻烦许多了,要把光刻机主体系统的组件一一拆开,分开检查测试才行。
而这时,站在不远处的郝宁教授忽然一拍大腿,“我知道是🇫什么原因了,应该是震动波的共振造成的,或者是电磁杂波频率跟激光波的频率有互相干扰。🝏🏎”
郝宁教授是光学专家,在光波学、电磁波学等专业领域是🗼♘权威人士。他经过许☈☿振鸣一提醒,瞬间来了灵感,说出一个让许🉡振鸣感到高深莫测的观点。
光波和电磁波的粒子、波两种形态,许振鸣在自学高中物理的时候有所涉及,可已经🍢早就忘得差不多。而郝宁教授的观点又涉及到量子物理的理论,他哪能搞得懂?
不但🕚🏁许振鸣搞不懂,现场的万宁古和梁宋松两位专家级人物也只能说略懂皮毛。专家都在自己🜼的领域里称雄,出了领域跟平常人的差距不是那么大的。
故此,万宁古激动的站起身🐗来,盯🜐🁕🅨着郝宁教授大声问道:“郝教授,你说说看,这台光刻机的缺陷到底是怎么回事?”
“有这种可能么👗?”梁宋松此时也半信半疑的站起身来,狐疑目光一直落在郝宁教授的脸上。
郝宁教授此次此刻非常激动,连连点头,“一定是这个问题。还是许董的眼光比较准,一下就能🜮找到这台光刻机🄓☭的缺陷所在🍮🙴。”一边说话,他一边拿出笔记本,把今天的灵感记录下来。
做好这些,他朝众人大笑着说:“我们大家都知道📽☮🂮共振的原理。这台光刻机主体系统的震动波若是跟激光光路系统的震动波频率一致,就会产生共振现🜇⛬象。倘若这台光刻机主体系🅒🆁🌧统的电磁杂波频率跟激光的频率一致……”
“激光也会产生共振🇾现象!”🅢🈓♥这时,在场的所有人都异口同声的说道。
在场的众人都🞠🕟技术员,普通物理知识还是知道一些的。他们这些人🅙,也包括许振鸣都瞬间听懂了郝宁教授的理🎐🐓论。