“这么重大的投资,我也无权决策啊。不过。各位专家,我们许董一向喜欢在新技术方面投入巨资,咱们合作办学的这个电子大学。我想他应该会批准的。”他只📵🟌能含糊其辞的说着客套话,并没有拒绝董教授等人的提议。
“只要许⚹董愿意投资,我们这🛠🝯联合办学的大学就由许董来命名。”
“对,我建议让许董亲自任校长!”
董教授、刘教授等人笑呵呵的跟📕🚩🕿着补刀,想把这个决策给坐🙥🌜实了。
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,🀲🀱🀡这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试?”
按照光刻机本来的调试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能🎫🔄开始👔🈤⛼进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡🇶🜿明镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫了片🎋刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微🌢微点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,🙕🙕“立即执行流片🏋😞工程测试程序!”
随着他这一🐇♘声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片🗱🝽工序的准备🅮工作。
芯片流片非常讲究,仅仅光刻🛠🝯室里就由许多道制程工艺组成🙥🌜。
比如说,蚀刻掩膜🃴片、给掩膜🛠🝯片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头🗱🝽校准对焦等等等等。
这🄦些工序的精度要求都非常高,而且要在无尘状态操作,不得马虎。
不但如此,光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技👰术参数都有严格的规定,否则都会影响🀲🀱🀡光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直⚵🕴都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点🙕头,“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“🄦是不⛡🛻是就像准备去参加高考一样?”站在他身旁的刘教授说起玩笑话,拿🗻♍胡明镇开心。
玩笑话虽然是🝘玩笑🃴话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家,每当自己的科研项目接受论证审查时,应该都是这种心态的。
一个半小⚹时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台krf光刻机已♣经做好准备,下面🐅要开始执行光刻制程工序,请指示。”