“许振鸣是🉃🄫🀜外行人,能知道这台光刻机的♗🈤技术原理么?”
“锦📛上添花没有雪中送炭来得划算,我🗠🝀🈁还是等到最后再👦亮出底牌才好。”
犹豫半天,梁宋松还是忍🀟♭住了,没把自己的判断和设想说出来。他转过脸去,开始安排自己小组的实验流程工序。
这时。
郝宁教授的小组成员已经进入状态,把激光能量测试仪、激光🕂光谱分析仪、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入测试状☬态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋🛧🞳松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发,表情🞦🖝📢严肃的下令:“郝教授,咱🏤们开始试验,第一步是测试激光能量的衰减率。”
“开📛始试验!把能量🗹☺🄠测试仪调整到自动调节运行状态,每一个🕂0.001毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激🏱光光路系统的能量测试难度非常大,空间高度每相差0.001毫米,激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。
梁宋松之所以把这个测试项目放在♳🌜⛢第一步,也正是因为如此。但他此时却不慌不忙,好像已经知道测试以后的数据一般。
“第一个节点数据正常,激光能量衰减度低于0.0🐋♻🍣09的数据级。”
“第二个节点数据也🗹☺🄠正常,能量衰减度低于0.0095的数据级。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光能量测试靶子的不断下降,工作站监视😈⛀🗓器上的数🌳🃎🖬据在不断跳动着。郝宁等人看着数据,嘴里也🎂不自觉的说出测试数据的结果。
这些数据都在规定范围之内,表明这套米国佬生产的激光光路系统质量非常稳📂定。
“老米的产品质量的确非常好。”
“谁📛说不是呢。体积小功🀟♭率大,噪音也小♗🈤,功耗还非常低。要是我们生产的激光光路系统能达到这种标准就好了。”
“我们的激光发生器做不到这一点。机械加工精度不如人家、光学仪器加工精度不如人家、光学材料的质🙔🍤量不如人家。我们拿什么来人家比?”
胡🏱磊和李峰两个老头子,一边关注着监视器,一边无奈的摇着头。他们在赞叹这台激光光路系统的同时,又有点无可奈何。
作为华夏国培养出来的第🀟♭一代光学工程专家,他😈⛀🗓俩要比大多数华夏工程更具有集团🛓荣誉感。在他们青春年少的时代,华夏国就连最普通的军用望远镜都要从东德和捷克进口。